三氟化氯的規格和運輸方式及其應用

描述
三氟化氯(ClF3)是一種腐蝕性，無色有甜味的氣體，即使在低濃度時也有高度刺激性。它是強氧化性，在高溫時能夠點燃許多有機化合物和許多金屬。遇水產生猛烈反應，在其自身壓力下，被作為液化性氣體運輸。
規格
純度，%	99.9
氧氣	≤20 ppmv
氮氣	≤50 ppmv
硫化氫	≤700 ppmv
運輸
DOT 運輸名稱	三氟化氯
DOT 分類	2.3
DOT 標簽	毒氣，氧化劑及腐蝕性
UN NO.	UN 1045
CAS NO.	7664-41-7
CGA/DISS	670/728
運輸狀態	液化性氣體
技術信息
鋼瓶狀況 @ 21.1°C	液體
在空氣中的燃燒極限	不可燃
自燃溫度 ( °C )	-
分子量 ( g/mol )	66.007
比重 ( 空氣 =1 )	3.14
臨界溫度 ( °C )	23.85
臨界壓力 ( psig )	823.2
應用
-在半導體工業中，三氟化氯用于清洗化學氣相沉積腔室。它的優勢是可以用于從室壁去除半導體材料，而不必拆卸腔室。不像大部分替代品，它不需要使用等離子體的激活，腔室的熱量足以使其分解并與半導體材料反應；

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